XPS测试常见问题解答

　　在做X射线光电子能谱XPS测试时，中科百测老师在与很多同学沟通中了解到，好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解，但是对于其原理还属于小白阶段，针对此，中科百测整理了XPS测试常见问题，希望可以帮助到做科研的小伙伴们；
　　问题一：所测窄谱元素，含量比为啥跟预期不符？
　　1.样品表面被污染
　　2.样品分布不均匀
　　3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内
　　4.XPS是半定量分析，和元素的实际含量会有出入
　　PS：XPS是一种典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，测试得到的仅是样品表面几百甚至几 十um大小，几个nm深度的样品信息，不代表样品整体性质
　　问题二：样品中，某元素窄谱曲线不光滑，峰刺较多，或没有测出该元素？
　　1.元素含量比较低
　　2.样品分布不均匀，所测试的光斑范围内，该元素含量较少
　　3.该元素不分布在样品表面，即不在XPS所测微区范围内
　　问题三：分峰后，某元素结合能位置不对？
　　1.确认下数据是否校正（我们给的数据，一般是没有校正的数据）
　　2.分析下化学环境对该元素峰本身造成的影响，某些化学环境会导致峰有正常的偏移
　　3.确认下分峰是否正确
　　问题四：元素的结合能测试范围和之前的不同，无法对比？
　　如果该元素的峰是完整的，可以自行截取至相同结合能范围进行对比，如果不影响分析也可以不进行截取