箱式烧结炉是一种常用的高温烧结设备,广泛应用于陶瓷、金属、半导体等领域。它主要由箱体、加热系统、控制系统和气氛控制系统等组成。
箱式烧结炉的箱体通常采用不锈钢或高温合金钢制造,具有良好的密封性能和耐腐蚀性。箱体内部有加热元件和热电偶,可以对炉内温度进行控制。加热元件通常采用电阻丝或硅碳棒等材料,能够提供高温热量,使炉内温度达到烧结所需的温度。
箱式烧结炉的控制系统通常采用 PLC 或计算机控制,可以实现自动控制和数据采集。控制系统可以设置不同的烧结程序,根据不同的工艺要求对炉内温度、气氛和压力等参数进行控制。同时,控制系统还可以实现故障报警和自动保护功能,确保设备的安全运行。
箱式烧结炉的气氛控制系统可以对炉内气氛进行控制,以满足不同的烧结工艺要求。气氛控制系统通常采用气体流量计、减压阀和控制阀等元件,可以对气氛流量、压力和成分等参数进行控制。气氛控制系统还可以与其他设备配合使用,如真空泵、气体净化器等,以实现对炉内气氛的进一步处理。
箱式烧结炉广泛应用于陶瓷、金属、半导体等领域,例如陶瓷烧结、金属粉末烧结、半导体芯片封装等工艺。它具有高温、高真空、气氛可控等特点,能够满足不同的烧结工艺要求。同时,箱式烧结炉还具有操作简单、维护方便、生产效率高等优点,是一种非常实用的高温烧结设备。